HCl（氯化氫）是非常重要的化工原料,而且具有很強的腐蝕性和毒性,對其實現在線監測不但對工業生產工藝的優化會起到重要作用,也能有效的為環境污染提供必要的參照和數據。可調諧半導體激光吸收光譜技術（tunable diode laser absorption spectroscopy,TDLAS）具有高靈敏、高選擇性、快速響應等特點,該技術利用了半導體激光器的可調諧和窄線寬特性,通過選擇待測氣體的某條吸收線可排除其他氣體的干擾可實現待測氣體濃度的快速在線檢測。介紹基于TDLAS的氯化氫氣體檢測的系統及實驗,重點研究了溫度對氯化氫測量的影響及其溫度補償方法,得出了一個經驗公式。最后的實驗結果驗證了經驗公式的合理性,進一步提高了TDLAS傳感器在工業高溫環境下測量氣體濃度的準確性和可行性。
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