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氯化氫

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電子級的氯化氫氣體國產化已是大勢所趨

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電子級的氯化氫氣體國產化已是大勢所趨

作者:山東言赫小編     發布時間:2015-08-17 10:37:25

    近幾年來,隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子氣體市場需求量明顯增長,電子級氯化氫氣的國產化已是大勢所趨。

    我國在國產化方面取得可喜進展:國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束,高純氯化氫已成功打開國內市場。

    高純氨作為電子工業中氮化膜的成膜氣體,是化學氣相沉積(CVD)重要的“氮”源。光明化工研究設計院總工程師孫福楠介紹說,2010年,國產高純氨在太陽能領域發揮了巨大的作用。由于國產高純氨進入市場,改變了國外氣體公司壟斷市場的局面。

    我公司的5.0N電子級(VLSI)氯化氫產品經國內外多家半導體重點企業連續大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用,制得的器件產品質量與國際知名品牌相當。