高純氯化氫的純度99.999％。無色氣體，對人體皮膚產(chǎn)生強烈刺激，有令人窒息的刺激性臭味。TLV5×10-6。氣體密度1.522kg/m3(21.1℃)；液體密度842kg/m3(21.1℃)。沸點-85℃。熔點-114.2℃。極易被水吸收，生成強腐蝕性鹽酸；極易在乙醇和乙醚中分解，與許多有機物質反應迅速。

    制法主要有兩種，一種是采用純氯和純氫燃燒反應，合成氯化氫氣體、經(jīng)催化轉化，吸附、精餾提純；一種是以工業(yè)氯化氫為原料，經(jīng)吸附，低溫精餾提純，冷凝液化充瓶。

    高純氯化氫用于電子工業(yè)中外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕，清除鈉離子；還用于金屬表面化學處理；激光用混合氣，膠片生產(chǎn)及碳纖維表面處理。