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電子特氣的凈化尤為重要
電子特氣的凈化尤為重要
電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和關(guān)聯(lián)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、維護(hù)氣氛等等。因?yàn)榘雽?dǎo)體和微電子技能向更高功能、更高集成度開展,對電子特氣的純度提出了越來越高的需求,電子特氣的凈化尤為重要。
目前國內(nèi)的超高純度凈化技能首要依靠進(jìn)口,本身的技能水準(zhǔn)(6N)與國際先進(jìn)水平(8-9N)有較大距離。本項(xiàng)目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進(jìn)行結(jié)尾凈化,使電子特氣純度由ppm級進(jìn)步到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小,然后極大地改進(jìn)工藝才能,下降產(chǎn)物缺點(diǎn), 進(jìn)步制程的產(chǎn)值,滿意下一代半導(dǎo)體、微電子以及關(guān)聯(lián)高技能開展的需求。本項(xiàng)目將構(gòu)成有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技能,處理超高純度電子特氣凈化這一核心技能的國產(chǎn)化問題。
山東言赫專業(yè)經(jīng)營淄博萬達(dá)利特種氣體公司生產(chǎn)的氯化氫氣體是在淄博齊魯石化工業(yè)園區(qū)注冊的高新科技企業(yè),淄博萬達(dá)利直屬于北京華宇同方,主要從事新材料技術(shù)和化工新技術(shù)的研發(fā),以及高新技術(shù)產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售。研發(fā)的沸石催化劑及其應(yīng)用技術(shù)處于世界先進(jìn)水平.生產(chǎn)的“華宇同方”牌高純氯化氫產(chǎn)品與國際知名品牌的性能相當(dāng),為半導(dǎo)體器件制造業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)和醫(yī)藥工業(yè)提供了充足的優(yōu)質(zhì)原材料。